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•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下操作运行。
•可高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
特点
结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的压力水平。
内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。。
通过空气冲洗抑制水分凝结。
用途
分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺
