产品概述：
5822i型离子器鼓风机系统是一款高精度/高速脱能鼓风机，结合外部传感器保持+/-1伏的离子平衡，适用于静电控制工艺。紧凑型机身适合集成到硬盘和半导体制造工艺中的设备中。
特点：
结合外部传感器实现高精度的+/-1V离子平衡（NOVX 3150/3350/3360/7000等）（无外部传感器+/-3V）
独特的自动离子平衡控制，支持更长的维护周期
高洁净度
5802i、5810i、5822i型离子器鼓风机为无尘室应用设计。ISO4类（联邦标准209E级10）合规的高洁净设计
风扇速两级切换
离子平衡可调
风扇停止报警
