发布日期：2026/4/28 13:07:20
日本EBARA干式真空泵EV-S型产品型号说明半导体行业用泵
节能节省空间的干式真空泵
转子设计和怠速功能实现了全球最高的节能和微型化水平。 它有助于降低运行成本。
抗腐蚀材料选项也涵盖广泛应用，从轻型应用如负载锁和SEM到腐蚀工艺。
型式 単位 EV-S20 EV-S20P/N EV-S30 EV-S30P EV-S50 EV-S50P/N EV-S100 EV-S100P/N EV-S200 EV-S200P/N
冷却水 流量 L/min 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0
温度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
電源 電源容量 kVA 3.2 3.2 3.6 3.6 4.8 4.8 6.4 6.4 6.8 6.8
排気速度 L/min 1670 1670 3300 3300 5000 5000 10000 10000 20000 20000
到達圧力 Pa 3 5 0.5 1 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
接続口径 吸気口 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 NW80 NW100 NW100
排気口 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW40 NW40
到達圧力時電力概略値 kW 0.4 0.4 0.4 0.4 0.55 0.55 0.65 0.65 0.75 0.75
N2 流量 Pa•m3/s - 17～20 (2.4) - 17～20 (2.4) 17～20 (2.4) 17～20 (2.4) 17～20 (2.4)
電源 相／電圧／周波数 200Vモデル
3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz
3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz
3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz
3相/200-220V,50/60Hz
400Vモデル 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz
3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz
3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz
概略質量 kg 60 60 90 90 100 100 120 120 170 170
